- Описание
- Документы
Системы LuphoScan
Тип оборудования: 3D-измеритель формы асферических оптических линз
Производитель: Taylor Hobson
Серия: LuphoScan
Модель: LuphoScan 260, 420
Описание: прибор для измерения высококачественных оптических поверхностей
Гарантия на Системы LuphoScan: 1 год.
Быстрое бесконтактное 3D-измерение формы асферических оптических линз
Платформы-автоматы LuphoScan представляют собой интерферометрические сканирующие измерительные системы, основанные на технологии MWLI® (многоволновой интерферометрии). В основном, они предназначены для выполнения сверхточных 3D-измерений осесимметричных поверхностей, таких как асферические линзы.
Системы LuphoScan обладают решающими преимуществами, когда речь идет об измерениях высококачественных оптических поверхностей
• Исследование любой осесимметричной поверхности (асферические, сферические, плоские поверхности и поверхности умеренно произвольной формы)
• Сверхвысокая, повторяемая точность ≤ ±50 нм
• Возможность исследования поверхностей практически из любого материала (прозрачные, зеркальные, непрозрачные, полированные, матовые поверхности)
• Допускаются большие отклонения от сферической формы (отклонения не ограничены, т. е. существует возможность измерения дискообразных поверхностей или поверхностей в форме крыла чайки, а также профилей с точками перегиба)
• Поверхности с большим наклоном (до 90°, т. е. существует возможность измерения полусфер)
• Высокая гибкость системы (при помощи системы можно измерять сегментированные поверхности, кольцеобразные линзы, прямоугольные поверхности, поверхности с дифракционными структурами, аксиконы
• Полная характеристика линз (возможность определения толщины линз, призматической погрешности, погрешности центрирования, положения оправы)
• Диаметры до 260 мм или до 420 мм
• Высокая скорость измерений (например, 1:58 мин (Ø = 30 мм, Rно = 60 мм, 100 точек/мм2, или 5:29 мин (Ø = 130 мм, Rно = 150 мм, 50 точек/мм2)
Оптические измерения на базе технологии многоволновой интерферометрии (MWLI)
Характеристики
Платформы LuphoScan позволяют легко выполнять измерения асферических, сферических, плоских поверхностей и поверхностей произвольной формы. Основные преимущества описываемых систем – это высокая скорость измерений, высокая гибкость в отношении необычных форм поверхностей (например, плоские апексы или профили с точками перегиба), а также максимальный диаметр предмета до 420 мм. Благодаря применению датчика MWLI® существует возможность сканирования различных типов поверхностей, включая поверхности из прозрачных материалов и металла, а также матовые поверхности.
Принцип измерения
Сканирование выполняется при помощи точечного датчика MWLI и четырех высокоточных столиков. Точечный датчик MWLI непрерывно измеряет расстояние до поверхности исследуемого предмета. Предметы поворачиваются на 360 градусов при помощи поворотного столика (С), в то время как положением датчика управляют 2 линейных столика (обеспечивающие движение по горизонтали (R) и вертикали (Z)), а также поворотный столик (T). В стандартном режиме работы датчик расположен перпендикулярно к поверхности или равноудален от нее. Управление датчиком обеспечивает его движение вдоль профиля идеальной ответной части поверхности. Во время измерений столик С поворачивает предмет, а другие столики перемещают датчик таким образом, чтобы выполнить спиральное сканирование всей поверхности (см. рисунок). Получившееся скопление точек позволяет обнаружить отклонения и дефекты поверхности предмета.
Конфигурации систем LuphoScan
Модели LuphoScan 260 (A, B) LuphoScan 420 (A, B)
Тип автомата 4 оси (3 механических подшипника, 1 воздушный подшипник)
Принцип измерений Интерферометрия, сканирующие точки
Технология датчика Оптоволоконный многоволновой интерферометр (MWU®)
Режим сканирования (3D) Спиральный, равноудаленный, перпендикулярный
Объем измерения (диаметр х высота) 260 мм x 75 мм 420 мм x 100 мм
Максимальный наклон 90°
Эталонная система 3 датчика MWLI®, Рамка из сплава Инвар, Компенсация погрешностей осей R, Z, T 1-го порядка
Параметры предмета
Форма поверхности Асферическая, сферическая, плоская, произвольной формы
Обработка поверхности Полированная, неполированная, прозрачная, зеркальная, непрозрачная
Отражающая способность 0,1 % ... 100 %
Отклонение от сферической формы Не ограничено (датчик предмета следует за идеальным профилем)
Максимальный диаметр с наклоном 90° 75 мм 105 мм
Максимальный диаметр предмета 260 мм 420 мм
Максимальный вес предмета 25 кг 50 кг
Характеристики автомата
Установка предмета Гидравлический зажимной патрон (HD25 или HD40), дополнительно: 3-кулачковый зажимной патрон (Д = 22 … 200 мм)
Скорость передачи данных 2500 Гц
Диапазон длины волны 1530 нм ... 1610 нм
Классификация лазера Класс 1; Незатухающая волна, < 1 мВт
Размеры автомата (Ш х Г х В) 85 см x 100 см x 186 см 100 см x 115 см x 186 см
Вес автомата 450 кг 600 кг
Требования к сжатому воздуху 6 … 10 бар, 20 л/мин
Требования к электропитанию 230 В перем. тока, 50/60 Гц, < 700 Вт
Характеристики измерений
Точность (2a) (угол падения ≤ ±1°) Полированная поверхность Ra < 1 мкм 1 мкм < Ra < 3 мкм
±50 нм ±250 нм ±1 мкм
Продольное разрешение 0,1 нм
Диаметр точки 4 мкм
Поперечное разрешение (точек на мм2) (регулируется) 0,1 ... 2 х 105
Обработка данных
Ввод параметров Коэффициенты несферичности (четный, нечетный)
Данные измерений 3D, 2D линейное сканирование
Форматы экспорта данных 3D: Zygo MetroPro XYZ, X, Y, Z, dN (ASCII, бинарный), X, Y, Z,dZ (ASCII, бинарный)
2D: Taylor Hobson MOD, Taylor Hobson PRF, X, Z, dN (ASCII, бинарный), X, Z, dZ (ASCII, бинарный)
Анализ данных 3D-визуализация поверхности, регулируемые сечения, 2D-графика, средства фильтрации (ФНЧ, ФВЧ, фильтр Гаусса), радиус наилучшей подгонки, асферическая подгонка, ПП, среднеквадратичное значение (RMS), тангенциальная и радиальная погрешность, отчет об измерениях (PDF)
